光刻是指利用光学复制的方法把图形印制在光敏记录材料上,然后通过刻蚀的方法将图形转移到晶圆片上来制作电子电路的技术。其中光刻系统被称为光刻机,带有图形的石英板称为掩膜,光敏记录材料被称为光刻胶或抗蚀剂。具体光刻流程如下图所示 光刻技术是集成电路制造、印刷电路板制造以及微机电元件制造等微纳加工领域的核心技术之一。进入21世纪以来,随着电子信息产业的高速发展,集成电路的需求出现了井喷式的增长。使的对掩膜的需求急剧增加,目前制作掩膜的主要技术是电子束直写,但该制作效率非常低下,并且成本也不容小觑,在这种背景下人们把目光转移到了无掩膜光刻技术。 备受关注的无掩膜光刻技术大概可以分为两类 ...
Microlight3D是一家生产用于工业和科学应用的高分辨率微尺度2D和3D打印系统的专业制造商。智能UV打印(SP-UV)系统,是该公司新产品。这是一种配有一个385 nm的紫外LED光源,基于DMD(Digital Micromirror Device)的全新无掩模光刻系统,因此SP-UV可以兼容所有标准的微电子光刻胶,包括微流体应用中不可或缺的i-line光阻剂SU-8。这一特点为半导体加工领域的开发人员,在光刻胶材料的选择上提供了更加广阔的空间。DMD无掩膜光刻机SP-UV的优势之一是对DMD光学投影技术的应用。这一技术在提高直写精度和速度的同时,提供了四种不同的直写分辨率。搭配Mi ...
博览:2021Photonics Research基于混合编码孔径的千万像素快照压缩成像技术背景:高分辨率图像易得,但是高分辨高速的视频采集难以实现。机器视觉在机器人、无人机、自动驾驶汽车和手机应用中的最新进展已将高分辨率图像带入我们的日常生活。高速高分辨率视频虽然在物理现象观察、生物荧光成像、体育直播等各个领域有着广泛的应用,但现有相机工作在高分辨率模式下时,由于受到帧率有限、内存、带宽和功率的限制,往往通量低。关于高通量成像,快照压缩成像(snapshot compressive imaging,SCI)被提出并成为广泛使用的框架。千万像素(10-mega pixel )镜头和传感器技术已 ...
一种新的三维纳米打印方法技术背景:在双光子吸收过程中,光场会在基态和量子系统(例如分子)的相关激发态之间产生一个状态。这种诱导状态,通常被称为虚拟态(在量子光学中也称为修饰状态)。这种状态确实存在,但前提是光场开启。使用激光脉冲时,虚拟状态寿命由脉冲持续时间决定。直观上,第一个光子诱导电子从基态跃迁到虚拟态,第二个光子诱导跃迁到激发态。双光子吸收过程在多光子光学显微镜和多光子光学光刻中至关重要,这两种应用都已商业化多年。多光子光学光刻已成为制造从纳米级到微米级的三维(3D)结构的成熟方法。在3D光学光刻(也称为直接激光写入或 3D 激光纳米打印)中,双光子吸收导致光引发剂跃迁率的缩放,因此曝光 ...
神经纳米光学用于高质量薄透镜成像技术背景:近几十年来,强度传感器的小型化使得当今的相机在许多领域得到广泛应用。如,医学影像、智能手机、安防、机器人和自动驾驶等。然而,成像器(imager)的尺寸如果能够再小一个数量级,那它将在纳米机器人、体内成像、AR/VR、健康检测等领域激发更多的新应用。虽然确实存在亚微米像素尺寸的图像传感器,但是传统光学限制了成像器的进一步小型化。传统成像系统由一系列校正像差的折射光学元件组成笨重的镜头,是为相机尺寸的下限。还有一个基本的障碍在于镜头焦距难以缩短,因为这会引入更大的色差。基于计算设计的超表面光学(meta-optics)是成像器小型化的可行手段之一。超薄的 ...
合成孔径超透镜技术背景:传统的折射光学元件通常体积庞大且笨重,而对于从消费电子产品到基于无人机或卫星的遥感的各种应用,紧凑、轻便的光学元件是其所渴求的。近年来,超表面已成为波前控制的新平台。超表面(metasurface)由厚度小于或接近光波长的、亚波长间隔的电介质或金属天线阵列组成,它可以准确地调制光的相位、振幅和偏振,且外形紧凑、具有通用成像能力。目前,广泛应用超透镜(metalens)技术的主要障碍之一是其孔径尺寸。增加透镜孔径的尺寸可以产生更高的成像分辨率,这对于显微镜和长距离成像应用来说都是至关重要的。具有纳米级非周期性特征的光学超透镜通常通过诸如电子束光刻(electron-bea ...
DOE+CFB+U-Net网络实现直径小于0.5mm的超细内窥镜技术背景:生物医学需要微创内窥镜,纤维内窥镜是微创内窥镜的一种,被广泛用于体内进行医学观察。常见的柔性内窥镜基于相干光纤束(coherent fiber bundles, CFB,也称为多芯光纤),它将强度模式从远端光纤面的隐藏区域传输到近端光纤端面的仪器上。位于光纤远端的镜头缩小或放大芯到芯的距离,并确定系统的分辨率。相干光纤束的直径可小至数百微米,以实现微创的目的。然而,远端光学部件增加了内窥镜的尺寸(通常在毫米范围)。此外,传统的二维内窥镜在没有机械扫描的情况下无法给出深度信息。最近,具有三维成像能力的超细内窥镜已被提出,它 ...
ACS Photonics July 21, 2021 Volume 8, Issue 7 摘要Terahertz Nano-Imaging of Electronic Strip Heterogeneity in a Dirac SemimetalRichard H. J. Kim,...Jigang Wang*Emerging topological semimetals offer promise of realizing topological electronics enabled by terahertz (THz) current persistent against impur ...
Lumencor固态光源在材料科学中的应用农业及食品检测 Agriculture and Food Inspection检查食品、饮料及其相关包装需要具备获取和处理图像的能力,以获得有关尺寸、形状、颜色、缺陷和完整性等参数的信息。为此,关键是优化照明强度,均匀性和几何形状,以获得具有良好的对比度和信噪比的显微图像。此外,有机和无机材料的光吸收特性各不相同,这使得为这些应用选择合适的照明波长成为一项挑战。食品在包装之前,必须经过种植和收获。当然,光是植物生长的基础。Lumencor的固态照明技术在应对这些食品检验和质量控制挑战方面处于领xian地位。常用产品型号 SOLA、AURA、SPECTR ...
目前市场上比较主流的激光3D打印技术有:选择性激光烧结(SLS:SelectiveLaser Sintering),选择性激光熔化(SLM:Selective laser melting)和光聚合光固化成型法(SLA:Stereo lithography Appearance)。昊量光电各种光电产品广泛应用于这三种激光3D打印技术中。我们为激光3D打印提供各种脉冲激光器及连续激光器,平场聚焦镜(场镜),扩束镜,光束整形镜,电动可变焦扩束镜,电动功率可变衰减器;DMD数字微镜,紫外光纤及紫外光纤束;以及常用的工业激光量测工具,功率计,能量计,光束分析仪,M2光束质量分析仪,位置敏感探测器等。 ...
光纤束我们提供各种光纤束,并根据要求为客户定制各种光纤束。可选的标准接口及护套铠甲。40,000小时不间断测试实验表明我们光纤束可以长期保持透过率稳定。此外,传统的光纤束均采用环氧胶来交合光纤,这一方式使光纤束的传输效率变低,我们PowerLightGuide FUSED-END BUNDLES 抗紫外光纤束(Optran® UVNS光纤)则采用输入端熔融工艺从而减小光纤间的空隙,极大的提供光纤束的透过效率。在保持光纤的NA不变的情况下,PowerLightGuide FUSED-END BUNDLES传输效率提高50%。因为不含任何环氧胶,PowerLightGuide FUSED-END
DMD无掩模光刻机 SmartPrint UV SystemDMD无掩模光刻机SMART PRINT UV是一种基于DMD投影技术的无掩模光刻设备,可兼容多种光刻胶和基材。SMART PRINT UV可以生产任何微米分辨率的二维形状,而不需要硬掩模。基于改进后的标准投影技术,投影出具有微米分辨率的图像,无掩模光刻机SmartPrint无需任何进一步步骤,就能直接从数字掩模光刻出您要的图。无掩模光刻机SmartPrint主要应用是MEMS, 微流体,二维材料,自旋电子学,生物技术和微电子等领域光刻表面微纳图案。主要特性:兼容SU-8、i、h、g线、AZ系统和宽带光刻胶等SmartPrint-UV
光片专用浸渍物镜光片显微镜的显著特征是照明和成像两个物镜垂直放置。其中物镜绝对了工作距离,成像效果等。为了更好的成像效果昊量光电推出了专用于光片成像的物镜昊量光电目前提供两种物镜1) 多浸渍物镜该浸入式/浸渍式物镜旨在用于组织成像的光片显微镜系统上,并且由于该物镜较长的工作距离和RI的匹配性也通常用于活细胞成像。该物镜的主要特点是由于其独特的弟一弯曲表面,可以无需校正环用于多种成像介质中。该物镜目前提供两种型号弟一代物镜54-10-12 和弟二代物镜54-10-8两款相比54-10-8拥有较高的分辨率和NA但是损失了工作距离和视野面积。2) 适用于高分辨率单物镜光片显微镜物镜(AMS-AGY)
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